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ThermoChuck

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产品描述:上海伯东美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系统利用导电加热和冷却系统,搭配晶圆探针台共同使用,提供 -65 至 +300°C 高低温环境,适用晶圆 150 mm、200 mm、300 mm ,可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试,例如低泄漏探测(fA)和高电压探测(10 kv),适用于晶圆、芯片在电高低温环境下的特性描述
规格:
  • Temptronic ThermoChuck
  • 11.00元
  • 1111个可售
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  • 品牌名称:暂无品牌
  • 起订量:1
  • 产品编号:32045
  • 库存量:500
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上海伯东美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系统利用导加热和冷却系统,搭配晶圆探针台共同使用,提供 -65 至 +300°C 高低温环境,适用晶圆 150 mm、200 mm、300 mm ,可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试,例如低泄漏探测(fA)和高压探测(10 kv),适用于晶圆、芯片在高低温环境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 适合各种厂牌晶圆探针台。


Temptronic ThermoChuck 技术参数:

一、晶圆尺寸:150 和 200 mm

 

ThermoChuck 型号

温度范围°C

冷却

加热

TP03000A

-65 to +200°C

Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

热电

TP03010A

+20 to +200°C

风冷/水冷*

热电

TP03010B

0 to +200°C

Closed loop glycol/water cooling

热电

TP03015A

+30 to +200°C (+300ºC optional)

风冷/水冷*

电阻

TP03015B

+30 to +200°C (+300°C optional)

Closed loop glycol/水冷

电阻

 

电压 115V或 220V
* 用户提供冷却介质



二、晶圆尺寸:300 mm

 

ThermoChuck 型号

温度范围°C

冷却

加热

TP03500A

-55 to +200

Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

电阻

TP03500D

+20 to +200

Open loop air cooling with Vortex*

电阻

TP03500E

+30 to +200

Open loop air cooling*

电阻

 

电压 220V
* 用户提供冷却介质

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  • 联系姓名:
  • 手机号码:15201951076
  • 经营模式:生产厂家
  • 所在地区:上海市 市辖区
  • 主营业务:Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机
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